三甲硅烷基胺（TSA）是一種無機化合物，分子式為（SiH3）3N，其外觀呈無色流動性液體。三甲硅烷基胺具有易水解、自燃性高、反應活性高等特點，在化工合成、醫(yī)藥合成、半導體制造以及科學研究領域應用較多。
   近年來，隨著本土企業(yè)及科研機構持續(xù)發(fā)力，我國三甲硅烷基胺專利數(shù)量持續(xù)增加，主要包括《一種三甲硅烷基胺的合成方法》、《制備三甲硅烷基胺的系統(tǒng)及方法》、《一種制備三甲硅烷基胺的方法》、《由一氯硅烷和氨制備三甲硅烷基胺的方法》、《用于凝相制備三甲硅烷基胺的設備和方法》等。未來伴隨研究深入、技術進步，三甲硅烷基胺行業(yè)發(fā)展速度有望進一步加快。
三甲硅烷基胺是一種含硅化合物，主要應用于化工合成、醫(yī)藥合成、半導體制造以及科學研究領域。在化工合成領域，三甲硅烷基胺可用于制造高性能聚合物；在醫(yī)藥合成領域，其可用作藥物載體；在半導體制造領域，其作為半導體前驅體材料，適用于半導體薄膜沉積工藝中。近年來，在國家政策支持等積極因素推動下，我國半導體產(chǎn)業(yè)發(fā)展速度不斷加快，這將為三甲硅烷基胺帶來廣闊市場空間。
   全球三甲硅烷基胺市場主要參與者包括德國贏創(chuàng)工業(yè)集團（Evonik）、德國瓦克化學公司（Wacker）等。贏創(chuàng)為全球化工龍頭企業(yè)，擁有多項三甲硅烷基胺相關發(fā)明專利，其產(chǎn)品銷量長期保持增長趨勢。
   我國三甲硅烷基胺主要生產(chǎn)商包括江西華特電子化學品有限公司、江蘇南大光電材料股份有限公司、浙江博瑞電子科技有限公司、洛陽中硅高科技有限公司等。南大光電專注于電子特氣、先進前驅體材料、光刻膠及其配套材料的研發(fā)、生產(chǎn)及銷售，為我國三甲硅烷基胺代表企業(yè)。據(jù)南大光電企業(yè)年報顯示，2023年公司半導體材料業(yè)務實現(xiàn)營收16.5億元，同比增長4.4%。
   三甲硅烷基胺作為半導體前驅體材料，應用需求旺盛，行業(yè)發(fā)展前景較好。未來隨著全球半導體產(chǎn)業(yè)向我國大陸轉移，三甲硅烷基胺行業(yè)發(fā)展速度將進一步加快。與海外發(fā)達國家相比，我國三甲硅烷基胺行業(yè)起步較晚，但發(fā)展勢頭迅猛，已有多家企業(yè)具備其量產(chǎn)能力。