四甲基氫氧化銨（簡(jiǎn)稱TMAH）是一種重要的四級(jí)銨堿，化學(xué)式為[(CH₃)₄N]OH。在現(xiàn)代工業(yè)，尤其是電子工業(yè)中，四甲基氫氧化銨因其獨(dú)特的化學(xué)性質(zhì)和應(yīng)用，成為半導(dǎo)體制造過程中不可或缺的化學(xué)品。特別是電子級(jí)四甲基氫氧化銨，以其高純度和穩(wěn)定性，在光刻、蝕刻及表面清洗等工藝中發(fā)揮著至關(guān)重要的作用。
　　在光刻方面，電子級(jí)四甲基氫氧化銨作為顯影液，能夠有效去除未曝光的光刻膠。同時(shí)，通過調(diào)節(jié)電子級(jí)四甲基氫氧化銨溶液的濃度和顯影時(shí)間，可以控制圖案的精細(xì)度和均勻性，純度越高的電子級(jí)四甲基氫氧化銨產(chǎn)品越能確保顯影過程的高選擇性和低缺陷率，提高了光刻圖案的分辨率和準(zhǔn)確性。
　　在蝕刻方面，電子級(jí)四甲基氫氧化銨在蝕刻硅材料時(shí)表現(xiàn)出良好的選擇性和各向同性蝕刻特性，能夠精確地形成微米級(jí)甚至納米級(jí)的結(jié)構(gòu)。相比傳統(tǒng)的氫氟酸蝕刻，電子級(jí)四甲基氫氧化銨具有更高的安全性和環(huán)保性，減少了對(duì)設(shè)備和操作人員的風(fēng)險(xiǎn)。
　　在表面清洗和處理方面，電子級(jí)四甲基氫氧化銨作為表面清洗劑，能夠有效去除有機(jī)污染物和金屬雜質(zhì)，為后續(xù)工藝提供干凈的表面。
　　2023年，中國(guó)境內(nèi)電子級(jí)四甲基氫氧化銨市場(chǎng)保持增長(zhǎng)態(tài)勢(shì)，市場(chǎng)銷售量達(dá)到20萬噸，主要基于：一是電子級(jí)四甲基氫氧化銨是顯示面板、半導(dǎo)體、太陽能電池等制作過程中不可缺少的關(guān)鍵性材料，國(guó)家不斷加大對(duì)包括電子級(jí)四甲基氫氧化銨在內(nèi)的濕電子化學(xué)品的政策扶持力度，促進(jìn)電子級(jí)四甲基氫氧化銨行業(yè)市場(chǎng)增長(zhǎng)；二是下游市場(chǎng)持續(xù)發(fā)展，帶動(dòng)電子級(jí)四甲基氫氧化銨需求，促進(jìn)銷售量增加。
　　中國(guó)電子級(jí)四甲基氫氧化銨重點(diǎn)企業(yè)包括杭州格林達(dá)電子材料股份有限公司、鎮(zhèn)江潤(rùn)晶高純化工科技股份有限公司、滄州信聯(lián)化工有限公司、無錫三開高純化工有限公司、湖北興發(fā)化工集團(tuán)股份有限公司等，電子級(jí)四甲基氫氧化銨行業(yè)比較集中，市場(chǎng)集中度高。
　　電子級(jí)四甲基氫氧化銨在半導(dǎo)體制造中發(fā)揮著重要作用，尤其是在光刻、蝕刻和表面清洗等工藝中。全球和中國(guó)市場(chǎng)對(duì)高純度電子級(jí)四甲基氫氧化銨的需求不斷增加，推動(dòng)了生產(chǎn)技術(shù)的進(jìn)步和質(zhì)量的提升。隨著半導(dǎo)體技術(shù)的不斷發(fā)展，電子級(jí)四甲基氫氧化銨將繼續(xù)作為關(guān)鍵化學(xué)品，支持著這一高科技產(chǎn)業(yè)的持續(xù)進(jìn)步。