等離子清洗技術(shù)是一種新型表面處理技術(shù)，工作原理分為反應(yīng)性等離子清洗、物理性等離子清洗兩大類。反應(yīng)性等離子清洗是利用等離子體中的活性粒子與材料表面的化學(xué)反應(yīng)，去除材料表面的污染物和雜質(zhì)；物理性等離子清洗是利用等離子體高能物質(zhì)活化作用及對(duì)污染物的轟擊作用，將污染物從工件上剝離去除。
等離子清洗技術(shù)是基于等離子體實(shí)現(xiàn)的。等離子體又稱電漿，是一種由電子、離子、自由基等組成的電離氣體。等離子體是物質(zhì)的第四態(tài)（不同于固體、液體、氣體），具有高能量、高活性等特點(diǎn)。根據(jù)等離子體產(chǎn)生方式不同，等離子清洗技術(shù)又分為大氣壓等離子清洗技術(shù)、微波等離子清洗技術(shù)、射頻等離子清洗技術(shù)、低溫等離子清洗技術(shù)等，其中射頻等離子清洗技術(shù)應(yīng)用最廣泛。
等離子清洗技術(shù)適用范圍廣，可用于半導(dǎo)體、金屬、陶瓷、塑料、玻璃、高分子材料等各種材料的表面處理，此外其還具有高效、無損傷、環(huán)保、無需干燥、無廢液產(chǎn)生等優(yōu)點(diǎn)。等離子清洗技術(shù)已在可再生能源、醫(yī)藥、航空航天、半導(dǎo)體、微電子、晶圓制造等領(lǐng)域得到廣泛應(yīng)用，尤其是微電子和晶圓制造領(lǐng)域。
等離子清洗機(jī)是實(shí)現(xiàn)等離子清洗技術(shù)的重要載體。等離子清洗機(jī)又稱為等離子表面處理機(jī)、等離子清潔機(jī)，通常由高頻電源、反應(yīng)氣源、真空腔、真空泵、電極、控制系統(tǒng)等部分組成。其中高頻電源可為氣體放電提供能量，真空泵作用是抽除副產(chǎn)物，反應(yīng)性氣體通常是氬、氧、氮、四氯化碳等單一或混合氣體。
近年來，我國等離子清洗市場發(fā)展相對(duì)穩(wěn)定，行業(yè)產(chǎn)值整體呈增長態(tài)勢(shì)，國產(chǎn)等離子清洗機(jī)逐漸實(shí)現(xiàn)進(jìn)口替代，市場占有率有所提升。我國等離子清洗市場布局企業(yè)較多，包括廣東安達(dá)智能裝備股份有限公司、東莞市恒芯半導(dǎo)體設(shè)備有限公司、東莞市晟鼎精密儀器有限公司、中山普雷斯等離子科技有限公司等。
等離子清洗技術(shù)在精密清洗、先進(jìn)制造等領(lǐng)域具有廣泛應(yīng)用前景，近年來，我國微電子、半導(dǎo)體等產(chǎn)業(yè)發(fā)展，為等離子清洗市場提供了廣闊空間。在設(shè)備方面，國產(chǎn)等離子清洗機(jī)在工藝、性能等方面已達(dá)到國際先進(jìn)水平，部分處于領(lǐng)先水平。為滿足多方位應(yīng)用需求，未來等離子清洗機(jī)將不斷向小型化、智能化、遠(yuǎn)程化、多功能化以及環(huán)�；�等方向發(fā)展。