氧化釕溫度計是科研工作中常用的低溫溫度計之一，具有負溫度系數(shù)，尤其適用于低溫、極低溫領域下的溫度測量，如用于量子芯片工作環(huán)境的測溫。
氧化釕（化學式O2Ru）是一種稀有貴重金屬的氧化物，具有高熔點、高硬度、高電導率、高催化活性等特點，在電子材料、催化劑、傳感器、溫度計、電鍍、電化學設備等領域應用廣泛。氧化釕資源稀有、價格昂貴，回收氧化釕是節(jié)約資源、降低成本的重要方式，氧化釕回收方法分為物理法和化學法。
在科學研究中，溫度的精確測量至關重要，但隨著溫度降低，測溫難度呈顯著提升趨勢。近年來，隨著低溫技術發(fā)展、超低溫存儲需求釋放，氧化釕溫度計、蒸氣壓溫度計等低溫溫度計市場得到較快發(fā)展。在國際市場上，低溫溫度計企業(yè)包括Lake shore、美國Honeywell、美國Cryocon、德國堡盟、德國CONATEX等。
目前我國氧化釕溫度計企業(yè)有合肥本源量子計算科技股份有限公司（本源量子）、科大國盾量子技術股份有限公司（國盾量子）、天津多為萊博科技有限公司等。目前我國氧化釕溫度計市場需求仍依賴進口，尤其是10mK以下溫區(qū)進行測量的氧化釕溫度計。
經(jīng)過多年發(fā)展和技術積累，我國低溫測量技術日益精進，目前在極低溫領域的溫度測量精度已達到國際先進水平。如2024年6月，國盾量子自主研發(fā)的高性能抗干擾氧化釕溫度計ezQ-RX56，測溫極限刷新了國內(nèi)紀錄，產(chǎn)品起測溫度接近6毫開爾文（mK）。
量子芯片是實現(xiàn)量子計算最基礎的核心器件。由于量子態(tài)非常脆弱，量子芯片需在極低的溫度下運行，以避免溫度波動導致量子信息丟失的問題。氧化釕溫度計可精確測量量子芯片內(nèi)工作環(huán)境的溫度，對保障量子計算機的穩(wěn)定運行、提高計算穩(wěn)定性/可靠性具有重要作用。
量子計算機在網(wǎng)絡安全、人工智能、金融、交通、能源、機器學習、國防等領域具有廣闊應用前景。目前我國量子計算機市場處于發(fā)展初期，突破性研究成果不斷增加，如中國科學技術大學的量子計算原型機“九章”、中科院量子信息重點實驗室的量子計算機操作系統(tǒng)“本源司南”、本源量子（合肥）上線運行的第三代自主超導量子計算機“本源悟空”等。作為量子計算機的核心器件之一，隨著量子計算機研究深入、低溫測量需求釋放，氧化釕溫度計市場需求空間也將進一步擴大。