精密陶瓷部件主要是指應用在半導體設備中的高精密復雜結構陶瓷部件。精密陶瓷部件是半導體設備的關鍵部件，其研發(fā)生產(chǎn)直接影響半導體產(chǎn)業(yè)發(fā)展。精密陶瓷部件需要具備高度輕量化、高尺寸精度特點，并且較多產(chǎn)品存在中空閉孔等復雜結構，因此其成型、燒結、制造、加工等環(huán)節(jié)技術壁壘高，生產(chǎn)難度大。
　　半導體設備位于半導體產(chǎn)業(yè)鏈上游，產(chǎn)品種類眾多，主要有光刻機、刻蝕機、離子注入設備、薄膜沉積設備、清洗設備、拋光設備等。目前，中國大陸地區(qū)是全球最大的半導體市場，對半導體設備需求旺盛。根據(jù)國際半導體產(chǎn)業(yè)協(xié)會（SEMI）公布的數(shù)據(jù)，2021年，全球半導體設備銷售額達到1026億美元，同比增長44%，其中，中國大陸地區(qū)半導體設備銷售額達到296億美元，同比增長58%，在全球中份額占比最大。
　　陶瓷部件具有結構穩(wěn)定、剛度高、導熱性好、熱穩(wěn)定性好、膨脹系數(shù)低等優(yōu)點，為實現(xiàn)高制程精度，半導體設備需要采用精密陶瓷部件。以光刻機為例，其需要的精密陶瓷部件主要包括磁鋼骨架、工件臺、水冷板、導軌、反射鏡、靜電吸盤、真空夾盤、手臂等，這些制品在尺寸、結構、厚度、輕量化、精度、光學性能等方面均具有高要求。但陶瓷硬度大、脆性大、熔點高，因此精密陶瓷部件制備難度高。
　　在全球范圍內(nèi)，僅有少數(shù)企業(yè)可以實現(xiàn)半導體設備用精密陶瓷部件規(guī)�；�生產(chǎn)，代表性企業(yè)主要是日本Kyocera（京瓷）、美國CoorsTek，這兩大企業(yè)在全球半導體設備用精密陶瓷部件市場中合計占有率達到72%。全球精密陶瓷部件市場集中度高，其他少數(shù)能夠生產(chǎn)精密陶瓷部件的企業(yè)份額占比較小。
　　我國精密陶瓷部件生產(chǎn)實力弱，需要主要依靠進口。作為半導體生產(chǎn)與消費大國，我國半導體設備行業(yè)規(guī)模不斷擴大，制造技術不斷進步，目前刻蝕機、清洗機、PVD、CVD等部分國產(chǎn)設備正在逐步進入半導體制造供應鏈，并在加大力度突破光刻機等高技術含量設備技術瓶頸。半導體設備制造能力直接影響電子信息產(chǎn)業(yè)發(fā)展，而精密陶瓷部件是半導體設備的關鍵部件，必須實現(xiàn)進口替代。
　　近年來，我國政府陸續(xù)出臺了多項政策鼓勵支持半導體產(chǎn)業(yè)發(fā)展，在國際政治、經(jīng)濟形勢多變背景下，為避免芯片等核心元器件供應被“卡脖子”，我國自主研發(fā)力度不斷加大。在此背景下，半導體設備以及精密陶瓷部件自主生產(chǎn)的重要性日益突出。2022年兩會期間，臺盟中央提交了“關于進一步加快半導體精密陶瓷部件產(chǎn)業(yè)發(fā)展的提案”，未來精密陶瓷部件行業(yè)受關注度將進一步提升，能夠突破技術瓶頸、實現(xiàn)精密陶瓷部件自主生產(chǎn)的企業(yè)發(fā)展空間巨大。