半導體廢氣處理設備，又稱半導體專用工藝廢氣處理設備，指在半導體制造業(yè)中用于處理和凈化生產(chǎn)過程中所產(chǎn)生有害氣體的關鍵設備。半導體廢氣處理設備需具備廢氣處理能力強、運行成本低、能耗低等特性，能夠降低酸性氣體、有機化合物以及堿性氣體等有害氣體的排放量。
   半導體廢氣處理設備種類極為豐富，主要包括干法洗滌器、濕法洗滌器、焚燒爐、催化氧化裝置、生物過濾器、活性炭吸附器、冷凝器、等離子體凈化器等。不同類型半導體廢氣處理設備，其適用場景也有所不同。濕法洗滌器主要包括電熱水洗、燃燒水洗、等離子水洗三種方式，能夠有效去除廢氣中的液態(tài)或固態(tài)粒子，具有體積小、結(jié)構簡單、凈化效率高等優(yōu)勢。
   近年來，在國家政策推動下，我國半導體制造業(yè)逐漸往環(huán)保方向發(fā)展。2023年12月，國家生態(tài)環(huán)境部發(fā)布《關于印發(fā)集成電路制造等四個行業(yè)建設項目環(huán)境影響評價文件審批原則的通知》，文件明確提到要嚴格防控集成電路制造項目環(huán)境風險，提升企業(yè)減排意識。未來伴隨國家政策支持，半導體廢氣處理設備作為環(huán)保設備，行業(yè)發(fā)展態(tài)勢將持續(xù)向好。
   半導體廢氣處理設備能夠有效處理半導體制程中產(chǎn)生的各類有害氣體，在應用需求帶動下，其行業(yè)發(fā)展速度不斷加快。2023年全球半導體廢氣處理設備市場規(guī)模達到近15億美元，同比增長近8%。在本土方面，伴隨環(huán)保觀念不斷深入，我國半導體廢氣處理設備市場規(guī)模持續(xù)增長，2023年達到近3億美元。
   全球半導體廢氣處理設備主要生產(chǎn)商包括德國戴思環(huán)保公司（DAS）、英國愛德華公司（Edwards）。在本土方面，受市場前景吸引，我國半導體廢氣處理設備生產(chǎn)企業(yè)數(shù)量不斷增長，帶動其市場競爭日益激烈。京儀裝備、盛劍環(huán)境、合肥亞笙、協(xié)微環(huán)境、格林斯達環(huán)保、萬業(yè)企業(yè)、利微成科技等為我國半導體廢氣處理設備主要生產(chǎn)商。
   受益于我國半導體產(chǎn)業(yè)發(fā)展速度加快，半導體廢氣處理設備應用需求日益旺盛。未來伴隨技術進步以及國家政策支持，我國半導體廢氣處理設備行業(yè)發(fā)展空間將進一步擴展。在市場競爭方面，我國半導體廢氣處理設備生產(chǎn)企業(yè)眾多，未來具備高性能產(chǎn)品生產(chǎn)實力的企業(yè)將占據(jù)市場更大空間。