雙（叔丁基氨基）硅烷，簡稱BTBAS，室溫下呈無色透明液體，在空氣中具有高揮發(fā)性，易燃，須在惰性氣體保護(hù)下儲存。雙（叔丁基氨基）硅烷具有較高反應(yīng)活性，可應(yīng)用在半導(dǎo)體、表面處理、涂料等領(lǐng)域。
　　半導(dǎo)體是雙（叔丁基氨基）硅烷主要需求領(lǐng)域，作為先進(jìn)硅基前驅(qū)體材料，雙（叔丁基氨基）硅烷可用于在較低溫度下沉積氮化硅和氧化硅薄膜，制備半導(dǎo)體器件。雙（叔丁基氨基）硅烷是氨基硅烷前驅(qū)體中反應(yīng)活性較高的一種前驅(qū)體，由于其Si-N鍵相對較弱，可使硅原子有效地參與到薄膜的生長過程中，提高氣相沉積（CVD）、原子層沉積（ALD）等薄膜沉積工藝速率和效率。
　　目前國內(nèi)雙（叔丁基氨基）硅烷制備方法報(bào)道較少，主要途徑有以氮?dú)饣蚨栊詺怏w為載氣，將二氯硅烷蒸氣與液態(tài)叔丁胺反應(yīng)，在無水條件下，經(jīng)過攪拌、過濾、膜分離、蒸發(fā)和精餾等工藝得到高純產(chǎn)品，或在惰性氣體及有機(jī)溶劑存在下，加入二氯氫硅和功能催化劑，攪拌降溫后加入叔丁基氨反應(yīng)，完成反應(yīng)后過濾雜質(zhì)得到成品。
　　近年來，我國晶圓產(chǎn)能呈逐漸擴(kuò)展態(tài)勢，帶動雙（叔丁基氨基）硅烷市場需求空間持續(xù)擴(kuò)大。同時隨著沉積層數(shù)增加，市場對前驅(qū)體材料的要求不斷提升，電子級高純度雙（叔丁基氨基）硅烷市場需求旺盛。
　　雙（叔丁基氨基）硅烷產(chǎn)業(yè)發(fā)展政策環(huán)境良好。如工信部等多部門發(fā)布《關(guān)于推動未來產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新發(fā)展的實(shí)施意見》，其中提到要發(fā)展先進(jìn)半導(dǎo)體、高性能碳纖維等關(guān)鍵戰(zhàn)略材料。雙（叔丁基氨基）硅烷作為較流行的先進(jìn)半導(dǎo)體硅基前驅(qū)體材料，行業(yè)發(fā)展態(tài)勢將持續(xù)向好。
　　在全球市場上，雙（叔丁基氨基）硅烷市場布局企業(yè)包括沃尼克材料北美公司、埃雷茲科技公司、美國AMS、Anhui Botai Electronic Materials、艾佩科（蘇州）電子、江蘇南大光電材料等。我國雙（叔丁基氨基）硅烷市場起步較晚，在生產(chǎn)工藝、純化工藝等方面還需進(jìn)一步優(yōu)化。
雙（叔丁基氨基）硅烷是隨半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展而誕生的一種重要氨基硅烷前驅(qū)體材料，我國是全球電子制造中心，雙（叔丁基氨基）硅烷市場需求空間廣闊。近年來，隨著研究深入，雙（叔丁基氨基）硅烷生產(chǎn)技術(shù)在不斷的開發(fā)，但目前來看，其生產(chǎn)工藝仍需進(jìn)一步優(yōu)化。