納米壓印機(jī)（NIL），指用于制造納米級(jí)特征圖案的技術(shù)設(shè)備。納米壓印機(jī)通常以納米壓印為技術(shù)載體，具備綠色環(huán)保、工作效率高、分辨率高、生產(chǎn)成本低等優(yōu)勢(shì)，可用于制造數(shù)據(jù)存儲(chǔ)器件、微流控裝置、生物傳感器、光子晶體、集成電路、AR/VR衍射光波導(dǎo)以及柔性電子器件等。
   納米壓印技術(shù)為納米壓印機(jī)核心技術(shù)。納米壓印技術(shù)是一種新型微納加工技術(shù)，指采用物理壓印方式，將圖案模具壓入軟性材料中，最后經(jīng)過(guò)固化、移除模具等流程獲得納米級(jí)特征圖案。我國(guó)納米壓印技術(shù)研究起步較早，目前已在眾多領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)商業(yè)化應(yīng)用。未來(lái)伴隨納米壓印技術(shù)不斷進(jìn)步，我國(guó)納米壓印機(jī)行業(yè)發(fā)展速度將進(jìn)一步加快。
   納米壓印機(jī)主要分為紫外光固化納米壓印機(jī)（UV-NIL）、微接觸印刷機(jī)以及熱納米壓印機(jī)三種類型。紫外光固化納米壓印機(jī)通常由UV紫外曝光模組、LED固化燈、STU模組、IPS模組以及主機(jī)等組件構(gòu)成，為熱納米壓印機(jī)衍生產(chǎn)品，主要利用紫外線固化聚合物，進(jìn)而得到納米級(jí)結(jié)構(gòu)，具備固化速度快、無(wú)污染、操作流程簡(jiǎn)單等優(yōu)勢(shì)，未來(lái)有望成為納米壓印機(jī)代表產(chǎn)品。
   納米壓印機(jī)作為一種先進(jìn)技術(shù)設(shè)備，在眾多領(lǐng)域應(yīng)用廣泛。在集成電路制造過(guò)程中，納米壓印機(jī)作為EUV光刻機(jī)替代產(chǎn)品，能夠?qū)⒓{米結(jié)構(gòu)固定于硅片上，可用于制造復(fù)雜集成電路。近年來(lái)，受益于國(guó)家政策支持以及本土企業(yè)持續(xù)發(fā)力，我國(guó)集成電路產(chǎn)量不斷增長(zhǎng)。據(jù)國(guó)家工信部統(tǒng)計(jì)數(shù)據(jù)顯示，2023年我國(guó)集成電路產(chǎn)量達(dá)到3514億塊，同比增長(zhǎng)6.9%。未來(lái)隨著應(yīng)用需求日益旺盛，我國(guó)納米壓印機(jī)行業(yè)發(fā)展態(tài)勢(shì)將持續(xù)向好。
   在市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)方面，受技術(shù)壁壘高等因素限制，外資企業(yè)長(zhǎng)期占據(jù)我國(guó)納米壓印機(jī)市場(chǎng)主導(dǎo)地位，主要包括丹麥NILT、德國(guó)SUSS MicroTec、日本佳能以及奧地利EV Group等。日本佳能為全球較早具備納米壓印機(jī)批量生產(chǎn)能力的企業(yè)，產(chǎn)品已銷往全球多個(gè)國(guó)家和地區(qū)。
   近年來(lái)，我國(guó)已有多家企業(yè)布局納米壓印機(jī)行業(yè)研發(fā)及生產(chǎn)賽道，包括光舵微納、利和興、騰景科技、中電科、兆馳股份、璞璘科技等。未來(lái)隨著行業(yè)景氣度提升，我國(guó)納米壓印機(jī)生產(chǎn)企業(yè)數(shù)量將進(jìn)一步增長(zhǎng)，屆時(shí)其市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)將日益激烈。