電子背散射衍射（EBSD）是一種在材料科學(xué)領(lǐng)域中用于表征晶體結(jié)構(gòu)的技術(shù)，通過(guò)分析從樣品表面反射回電子的衍射模式，精確測(cè)量晶體的取向、晶界取向差、鑒別物相及局部晶體完整性等關(guān)鍵信息。
　　電子背散射衍射是現(xiàn)階段較先進(jìn)的材料表征手段，相比于金相、XRD、投射等表征手段，具有微區(qū)物相鑒定精度高、數(shù)據(jù)信息量豐富、晶粒取向信息直觀、樣品制備簡(jiǎn)單等優(yōu)勢(shì)。
　　近年來(lái)，電子背散射衍射技術(shù)在材料科學(xué)領(lǐng)域應(yīng)用價(jià)值愈發(fā)凸顯，其已廣泛用于金屬及合金、薄膜、半導(dǎo)體、礦物、陶瓷、納米晶等材料微觀組織研究中，在航空航天、核能、微電子、先進(jìn)制造、金屬加工、可再生能源開發(fā)、地質(zhì)研究等場(chǎng)景應(yīng)用越來(lái)越廣泛。隨著材料科學(xué)飛速發(fā)展，電子背散射衍射技術(shù)應(yīng)用前景將愈發(fā)明朗。
　　電子背散射衍射儀是基于電子背散射衍射技術(shù)的新型顯微分析設(shè)備，其通常安裝在掃描電子顯微鏡（SEM）或電子探針上。國(guó)外電子背散射衍射技術(shù)發(fā)展成熟，電子背散射衍射儀核心競(jìng)爭(zhēng)力強(qiáng)，主要研制企業(yè)包括牛津儀器、布魯克、美國(guó)EDAX等。
　　早期我國(guó)電子背散射衍射技術(shù)完全依賴進(jìn)口，為打破國(guó)外壟斷、滿足應(yīng)用需求，我國(guó)加大了對(duì)具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的高精度電子背散射衍射儀研制力度，在國(guó)家重點(diǎn)研發(fā)計(jì)劃重點(diǎn)專項(xiàng)“高精度電子背散射衍射探測(cè)器研制”項(xiàng)目支持下，電子背散射衍射儀國(guó)產(chǎn)化進(jìn)程將不斷加快。
　　我國(guó)電子背散射衍射儀研制企業(yè)及單位包括浙江祺躍科技有限公司、中國(guó)科學(xué)院上海硅酸鹽研究所（上海硅酸鹽所）、中國(guó)科學(xué)院國(guó)家空間科學(xué)中心等。上海硅酸鹽所研制的高分辨電子背散射衍射儀項(xiàng)目是采用高效磷屏探測(cè)器設(shè)計(jì)方案，該方案結(jié)合了新型稀土摻雜熒光材料與高靈敏CMOS相機(jī)，從源頭提高了采集衍射花樣的信噪比，目前項(xiàng)目組已完成高分辨率電子背散射衍射儀樣機(jī)一臺(tái)，具備批量生產(chǎn)的能力。
　　作為先進(jìn)的材料表征手段，近年來(lái)，電子背散射衍射技術(shù)在材料科學(xué)領(lǐng)域應(yīng)用價(jià)值不斷凸顯，應(yīng)用范圍持續(xù)擴(kuò)展。我國(guó)電子背散射衍射技術(shù)及設(shè)備研制起步晚，目前與國(guó)際先進(jìn)水平相比仍存在一定差距，但在國(guó)家重點(diǎn)研發(fā)計(jì)劃專項(xiàng)扶持下，我國(guó)電子背散射衍射儀自主研制能力在不斷提升，國(guó)產(chǎn)化進(jìn)程將持續(xù)推進(jìn)。