射頻離子源，指利用射頻電場(chǎng)來實(shí)現(xiàn)氣體電離，進(jìn)而產(chǎn)生等離子體和離子束的裝置。相比其他類型離子源，射頻離子源具備使用壽命長(zhǎng)、可調(diào)節(jié)能量分散低、離子產(chǎn)率高、安全穩(wěn)定性好等優(yōu)勢(shì)，在醫(yī)療衛(wèi)生、半導(dǎo)體制造、通信系統(tǒng)、材料科學(xué)等領(lǐng)域應(yīng)用較多。
為規(guī)范市場(chǎng)發(fā)展，我國(guó)有關(guān)部門已出臺(tái)多項(xiàng)射頻離子源相關(guān)行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)及團(tuán)體標(biāo)準(zhǔn)。2024年12月，中國(guó)商業(yè)企業(yè)管理協(xié)會(huì)發(fā)布團(tuán)體標(biāo)準(zhǔn)《T/ACCEM 456—2024 離子輔助沉積用射頻離子源》，文件對(duì)于射頻離子源的試驗(yàn)方法、檢驗(yàn)規(guī)則、產(chǎn)品參數(shù)以及技術(shù)要求等內(nèi)容進(jìn)行了明確規(guī)范。未來伴隨行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)不斷完善，我國(guó)高品質(zhì)射頻離子源市場(chǎng)占比有望提升。
射頻離子源用途廣泛，主要包括醫(yī)療衛(wèi)生、半導(dǎo)體制造、通信系統(tǒng)、材料科學(xué)等。在醫(yī)療衛(wèi)生領(lǐng)域，射頻離子源可用于醫(yī)療器械表面處理、藥物合成、癌癥治療等場(chǎng)景；在半導(dǎo)體制造領(lǐng)域，其可用于晶圓刻蝕工藝以及薄膜沉積工藝中，該領(lǐng)域?yàn)槠渥畲笮枨蠖�；在材料科學(xué)領(lǐng)域，其可用于制造光學(xué)薄膜。
全球射頻離子源市場(chǎng)主要參與者包括美國(guó)Kaufman & Robinson,Inc公司（KRI）、美國(guó)Denton Vacuum公司、德國(guó)SCIA Systems公司、德國(guó)IPT公司等。美國(guó)KRI公司推出的考夫曼離子源具備離子束濃度低、可提供高能量等優(yōu)勢(shì)，在鍍膜、刻蝕、離子清洗、離子拋光等工藝中應(yīng)用廣泛，為全球射頻離子源代表企業(yè)。
在行業(yè)發(fā)展初期，受技術(shù)壁壘高、運(yùn)行成本高等因素限制，我國(guó)射頻離子源高度依賴進(jìn)口。近年來，隨著本土企業(yè)持續(xù)發(fā)力，我國(guó)射頻離子源市場(chǎng)國(guó)產(chǎn)化進(jìn)程有所加快。博頓光電、福光股份、鑫立離子技術(shù)、中核同創(chuàng)等為我國(guó)射頻離子源主要布局企業(yè)。博頓光電專注于離子束技術(shù)及其設(shè)備產(chǎn)品的研發(fā)、制造和應(yīng)用，目前已開發(fā)出矩形射頻離子源等離子源產(chǎn)品。2024年9月，博頓光電完成億元B輪融資，資金將用于開發(fā)高性能離子束設(shè)備。
射頻離子源在眾多領(lǐng)域擁有廣闊應(yīng)用前景，未來伴隨全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)逐漸向我國(guó)大陸轉(zhuǎn)移，其市場(chǎng)需求將進(jìn)一步增長(zhǎng)。在市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)方面，歐美國(guó)家長(zhǎng)期占據(jù)全球射頻離子源市場(chǎng)主導(dǎo)地位。近年來，受益于技術(shù)進(jìn)步，我國(guó)國(guó)產(chǎn)射頻離子源市場(chǎng)占比有所提升。