三氯氫硅，又稱硅氯仿，化學式為SiHCl3，是一種無機物。三氯氫硅外觀呈無色至淡黃色液體，含刺激性氣味，可溶于氯仿、苯以及二硫化碳，不溶于水。三氯氫硅具備易水解、粘度低、親油性好等特點，可用于制造高純硅、硅烷偶聯劑以及多晶硅，半導體制造、光伏電池、膠粘劑等領域為其主要需求端。
 三氯氫硅制備方法包括四氯化硅氫化法、硅氫氯化法兩種。四氯化硅氫化法，又稱熱氫化法，指以四氯化硅為原材料，經高溫加熱后通入氫氣，再經過氫化反應制得成品，該法具備成品收率高、成品質量好等優(yōu)勢；硅氫氯化法以硅鐵、硅銅或硅粉為原材料，通入HCl氣體，經過充分反應制得成品，該法具備技術成熟度高、運行成本低等優(yōu)勢，適合進行連續(xù)化生產。
受益于技術進步，我國三氯氫硅產量不斷增長。2024年我國三氯氫硅產量達到近45萬噸，同比增長超過5%。但目前，我國電子級三氯氫硅以及光伏級三氯氫硅等高品質三氯氫硅產能較低，需求高度依賴進口。預計未來一段時間，隨著國家環(huán)保政策趨嚴以及產業(yè)結構不斷優(yōu)化，我國三氯氫硅行業(yè)逐漸往高品質、綠色化方向發(fā)展。
     三氯氫硅性能優(yōu)異，在眾多領域需求旺盛，主要包括半導體制造、光伏電池、膠粘劑等。在半導體制造領域，電子級三氯氫硅可用于硅外延片制備過程中；在光伏電池領域，光伏級三氯氫硅可用于制造多晶硅等光伏電池材料；在膠粘劑領域，三氯氫硅為硅烷偶聯劑主要原材料，可有效提升膠粘劑的耐久性。
    全球三氯氫硅主要生產商包括日本東麗、美國杜邦、荷蘭阿克蘇諾貝爾以及德國瓦克等。在本土方面，我國三氯氫硅市場主要參與者包括三孚股份、陽谷華泰、晨光新材、新安股份、宏柏新材等。三孚股份主營產品包括三氯氫硅、電子級三氯氫硅、高純四氯化硅等，據其企業(yè)年報顯示，2023年公司三氯氫硅銷量達到7.6萬噸。
   三氯氫硅應用前景廣闊，行業(yè)發(fā)展速度不斷加快。近年來，伴隨技術進步，我國三氯氫硅產量及質量不斷提升。在市場競爭方面，預計未來一段時間，具備電子級及光伏級產品批量生產實力的企業(yè)將占據我國三氯氫硅市場較大份額。