3D激光線輪廓測量儀簡稱3D激光輪廓儀,是基于激光三角測量法,向被測物表面投射激光平面,通過接收裝置接收其反射光的變化,獲取不同材質(zhì)表面的高度、高度差、寬度、粗糙度、波紋度、表面缺陷、磨損情況等輪廓信息。
3D激光輪廓儀能夠?qū)崿F(xiàn)輪廓信息的高精度測量及檢測,具有高速、精密、可靠、穩(wěn)定等特點(diǎn),在工業(yè)制造、醫(yī)療器械、光學(xué)加工、半導(dǎo)體、汽車、建筑設(shè)計、量塊標(biāo)定等領(lǐng)域應(yīng)用廣泛。3D激光輪廓儀在半導(dǎo)體領(lǐng)域應(yīng)用廣泛,具有提高芯片制造效率/質(zhì)量、降低生產(chǎn)風(fēng)險的作用。
半導(dǎo)體檢測是控制芯片制造良率的關(guān)鍵環(huán)節(jié),半導(dǎo)體檢測設(shè)備在整個半導(dǎo)體設(shè)備市場的占比達(dá)12.5%以上。近年來,在數(shù)字化背景下,人工智能、物聯(lián)網(wǎng)等產(chǎn)業(yè)發(fā)展迅速,芯片需求隨之釋放。3D激光輪廓儀作為一種半導(dǎo)體檢測設(shè)備,可用于芯片表面平整度、表面粗糙度、缺陷/臟污檢測,市場需求空間廣闊。
全球范圍內(nèi),3D激光輪廓儀生產(chǎn)商主要分布在美國、歐洲、日本等地區(qū),包括西班牙Sensofar、德國COGNEX、加拿大樂姆邁、美國菲樂、美國Rtec、基恩士等。近年來,隨著國內(nèi)技術(shù)突破,我國也涌現(xiàn)出一批優(yōu)秀的3D激光輪廓儀生產(chǎn)商,包括光子精密、深圳中圖儀器、深視智能等,3D激光輪廓儀國產(chǎn)替代進(jìn)程加快。
3D激光線輪廓傳感器是3D激光輪廓儀核心零部件。3D激光輪廓傳感器由激光光源和相機(jī)組成,2022年,全球3D激光線輪廓傳感器市場規(guī)模約為15.4億元。3D激光線輪廓傳感器在機(jī)器人、自動駕駛、虛擬現(xiàn)實(shí)、工業(yè)控制等領(lǐng)域應(yīng)用廣泛,市場規(guī)模將保持增長趨勢,預(yù)計2029年將達(dá)到51.0億元左右。全球3D激光線輪廓傳感器生產(chǎn)商有基恩士、康耐視、LMI Technologies、SmartRay等。與國際企業(yè)相比,我國3D激光線輪廓傳感器企業(yè)在技術(shù)水平、生產(chǎn)規(guī)模、品牌知名度等方面存在一定差距。
隨著傳感器技術(shù)進(jìn)步、算法優(yōu)化,3D激光輪廓儀將不斷向超高精度、超高分辨率、超高穩(wěn)定性等方向發(fā)展。3D激光輪廓儀市場發(fā)展前景較好,但同時,隨著布局企業(yè)增加,3D激光輪廓儀市場競爭也將更加激烈,相關(guān)企業(yè)仍需不斷提高技術(shù)水平和產(chǎn)品質(zhì)量,以擴(kuò)大自身競爭優(yōu)勢。