風(fēng)囊泵又稱為氣動(dòng)隔膜泵，是一種氣體壓縮設(shè)備，屬于氣動(dòng)波紋管泵。風(fēng)囊泵有兩個(gè)工作腔，每個(gè)工作腔分為氣相工作腔和液相工作腔兩部分，工作原理是采用壓縮空氣為動(dòng)力源，通過換向閥控制壓縮空氣依次進(jìn)入兩個(gè)氣相工作腔工作，利用液相腔的交替吸液排液，實(shí)現(xiàn)對(duì)液體的輸送。

風(fēng)囊泵通常由風(fēng)囊、伺服電機(jī)、控制系統(tǒng)等部分組成，控制系統(tǒng)是其關(guān)鍵部分。控制系統(tǒng)包括傳感器、控制器、反饋回路，通過監(jiān)測(cè)液體流量和壓力，并根據(jù)設(shè)定值進(jìn)行調(diào)整，以實(shí)現(xiàn)對(duì)液體流量和壓力的精確控制。根據(jù)壓縮方式不同，風(fēng)囊泵分為單作用式風(fēng)囊泵、雙作用式風(fēng)囊泵兩種。

風(fēng)囊泵具有無泄漏、高精度、無需電源、介質(zhì)輸送穩(wěn)定、耐腐蝕、噪音小、壽命長(zhǎng)等特點(diǎn)，適用于輸送高純度、易揮發(fā)、低濃度、強(qiáng)腐蝕性、高粘度的介質(zhì)，在化工、制藥、環(huán)保、印染、光伏、半導(dǎo)體等領(lǐng)域應(yīng)用廣泛。

在半導(dǎo)體領(lǐng)域，風(fēng)囊泵可用于酸、堿、水、溶劑等化學(xué)品輸送，清洗劑輸送及特定溶液輸送，以確保半導(dǎo)體制造效率和質(zhì)量。我國是全球最大的半導(dǎo)體市場(chǎng)，根據(jù)國家統(tǒng)計(jì)局?jǐn)?shù)據(jù)顯示，2023年1-10月，我國集成電路產(chǎn)量達(dá)2765.3億塊。風(fēng)囊泵是槽式清洗機(jī)、濕法清洗機(jī)、化學(xué)機(jī)械拋光（CMP）機(jī)等設(shè)備的重要部件之一，隨著半導(dǎo)體市場(chǎng)發(fā)展，半導(dǎo)體用風(fēng)囊泵市場(chǎng)需求將進(jìn)一步釋放。

在全球市場(chǎng)上，半導(dǎo)體用風(fēng)囊泵企業(yè)有美國白騎士、日本易威奇、美國Trebor、美國Pillar、意大利SAT、臺(tái)灣帝隆、華林科納、瑞擇微、科百特、巖木科技等，其中美國白騎士、日本易威奇在國內(nèi)市場(chǎng)的占比較高。半導(dǎo)體用風(fēng)囊泵誕生于上世紀(jì)90年代，由于制造難點(diǎn)多，我國能實(shí)現(xiàn)自主研發(fā)及生產(chǎn)的企業(yè)較少。

風(fēng)囊泵可用于高純度液體輸送，在制藥、化工、半導(dǎo)體等領(lǐng)域應(yīng)用廣泛。半導(dǎo)體用風(fēng)囊泵是半導(dǎo)體濕法制程的關(guān)鍵部件之一，在半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈中起著不可或缺的作用，我國是半導(dǎo)體生產(chǎn)大國，半導(dǎo)體用風(fēng)囊泵市場(chǎng)需求空間較大，但目前我國企業(yè)在半導(dǎo)體用風(fēng)囊泵領(lǐng)域不具優(yōu)勢(shì)，與國外企業(yè)相比，在技術(shù)水平、品牌知名度等方面存在一定差距。